Alicat MC Series Mass Flow Controller Manuel d'utilisateur Page 65

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Technical Data for Alicat MCS and MCRS-Series Mass Flow Controllers
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Air Air
1 Argon Ar
2 Methane 
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5 Ethane 
Hydrogen H2
7 Helium He
8 Nitrogen N2
9 Nitrous Oxide N2O
 Neon Ne
11 Oxygen O2
12 Propane C3H8
13 normal-Butane 
 Acetylene C2H2
15 Ethylene 
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17 Krypton Kr
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27
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28
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2% O2
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31  NF3
32 Ammonia NH3
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in an inert carrier
NO2
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carrier

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